?工廠循環(huán)水的直接熱交換器
?用于在無需冷凍機(jī)的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行溫控
?溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍大、有故障診斷、外部通信等功能,廣泛用于半導(dǎo)體行業(yè)
?符合UL, SEMI規(guī)格及CE標(biāo)識
?可選擇變頻型
系列 | 設(shè)定溫度 范圍 | 冷卻能力 | 溫度 穩(wěn)定性 | 冷卻方式 | 循環(huán)液 |
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HRW | 20~90℃ | 2kW, 8kW 15kW, 30kW | ±0.3℃ | 水冷卻式 (無冷凍機(jī)) | 氟化液 清水 脫離子水(純水) 乙二醇水溶液(60%) |