?采用可更換濾芯的夾頭型。
(SFA100?200?300，SFB100)
?半導(dǎo)體工藝用的小型一次性過濾器。
(SFB300，SFC100)
| 形式 | 系列 | 使用壓力 | 過濾精度 |
|---|---|---|---|
| 夾頭型 圓盤式 | SFA100?200?300 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
| 夾頭型 直通式 | SFB100 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
| 一次性型 直通式 | SFB300 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
| 一次性型 多盤型 | SFC100 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
