?可用于空氣、N2、Ar、CO2?無(wú)潤(rùn)滑脂規(guī)格。?與流量調(diào)整閥一體化。?體積小、重量輕、省空間。系列額定流量范圍（L/min）PFM0.2～10（0.2～5）0.5～25（0.5～12.5）1～50（1～25）2～100（2～50）（　）為CO2的場(chǎng)